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    薄膜的本征应力
    • 作者:未知 更新时间:2010-8-19 13:03:08 来源:江苏省光学学会 【字号: 】 本条信息浏览人次共有
    问题:不同材料的薄膜本征应力的大小和性质如何?
    解答:薄膜内部单位截面上所承受的力,称内应力。内应力是薄膜制造过程中,在内部自己产生的应力。内应力分本征应力和热应力。
    本征应力来自薄膜的结构因素或缺陷,它是内应力的不可逆部分;本征应力有界面应力和生长应力组成。界面应力的产生是由于界面处薄膜与基片的结构失配。当薄膜与基片的晶格或准晶格具有大的差别,或界面上有相当高的缺陷密度和杂质密度时,也会引起严重的界面失配。都会导致很大的界面应力。生长应力来自膜内各个无序结构层的重排和收缩,或源于晶粒之间的相互作用力。下面分别介绍金属膜、介质膜的本征应力大小和应力类型。供参考。
    表1 厚度约为100nm的金属膜的本征应力
    2 厚度约为500nm的介质膜的本征应力
                                                                       
                                            薄膜专委会
                                              2004-12-20
    附件:表1 厚度约为100nm的金属膜的本征应力表2 厚度约为500nm的介质膜的本征应力 .doc
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