问题：不同材料的薄膜本征应力的大小和性质如何？
解答：薄膜内部单位截面上所承受的力，称内应力。内应力是薄膜制造过程中，在内部自己产生的应力。内应力分本征应力和热应力。
本征应力来自薄膜的结构因素或缺陷，它是内应力的不可逆部分；本征应力有界面应力和生长应力组成。界面应力的产生是由于界面处薄膜与基片的结构失配。当薄膜与基片的晶格或准晶格具有大的差别，或界面上有相当高的缺陷密度和杂质密度时，也会引起严重的界面失配。都会导致很大的界面应力。生长应力来自膜内各个无序结构层的重排和收缩，或源于晶粒之间的相互作用力。下面分别介绍金属膜、介质膜的本征应力大小和应力类型。供参考。
表1 厚度约为100nm的金属膜的本征应力
表2 厚度约为500nm的介质膜的本征应力
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